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混合氣體質(zhì)量流量計是一種精確測量氣體流量的儀表，用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密丈量和控制；具有質(zhì)量流量計的功能，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。而質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置，是一個可以手動設(shè)定或與計算機連接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。氣體質(zhì)量流量計(MassFlowMeter縮寫為MFM)用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密丈量。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕...

使用流量計產(chǎn)品的用戶會發(fā)現(xiàn)，不同廠家產(chǎn)品精度的名稱有不同叫法，有精度、準(zhǔn)確度、精度等級等，其實這都說的是產(chǎn)品精度。目前市場上流量儀表精度等級常見的有0.5級、1.0級、1.5級、2.5級等，級數(shù)越小，精度（準(zhǔn)確度）就越高。如果兩個流量計精度都是1.0%，那么兩塊儀表產(chǎn)品精度就是一樣的嗎？非也！那么區(qū)別在哪里呢？我們經(jīng)常會看到精度數(shù)據(jù)后面會有RD、FS、SP這樣的字母，區(qū)別就在這里。這些字母是什么意思？首先，我們先看產(chǎn)品精度公式：精度=(測量數(shù)據(jù)-標(biāo)準(zhǔn)值)/標(biāo)準(zhǔn)值*1（公式1）...