易度微流量流量計(jì)基于內(nèi)部補(bǔ)償型*層流壓差技術(shù)，產(chǎn)品最小滿量程0.5sccm，測(cè)量流量范圍為5uL~500uL，更小流量需定制。可快速精確測(cè)量過(guò)程氣體的實(shí)時(shí)溫度、壓力、工況流量、標(biāo)況流量和累計(jì)流量五大參數(shù)。用于精確和快速測(cè)量氣體流量、泄露率檢測(cè)等。

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：可觸屏點(diǎn)擊操作、讀取流量，或者提供上位機(jī)軟件操作。

l 核心優(yōu)勢(shì)：高精度、高重復(fù)性、快速響應(yīng)

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)

l 實(shí)時(shí)顯示5種過(guò)程變量

l 內(nèi)置49種氣體，，一鍵自由切換氣體，無(wú)需查找、輸入系數(shù)，并可自主編輯混合氣體

l 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間，開(kāi)機(jī)即可使用，即插即用。

產(chǎn)品規(guī)格：

l 產(chǎn)品型號(hào)：

l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

性能參數(shù)：

l 精度：±1.0%RD

l 重復(fù)精度：±0.2%F.S.  

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準(zhǔn)100KPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度20℃）

l 工作范圍：1%~120%F.S.

l 響應(yīng)時(shí)間：≤100ms.

l 啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間：1s

使用條件：

l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃

l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無(wú)冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 壓損：4kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜150mA （＜5V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質(zhì)：SUS304，SUS316L

l 進(jìn)出口：管螺紋（內(nèi)螺紋）

l 接氣部密封材質(zhì)：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數(shù)字信號(hào)：RS485，Profibus

l 模擬信號(hào)：4-20mA，0-5V

應(yīng)用場(chǎng)景

l 流量型氣密性測(cè)試設(shè)備

l 醫(yī)療氣密測(cè)試設(shè)備

l 漏孔檢測(cè)測(cè)試

易度智能微流量流量計(jì)在微小流量測(cè)控領(lǐng)域具有較好的應(yīng)用，傳感器靈敏性好，可極快檢測(cè)到幾微升的流量波動(dòng)并迅速顯示。