觸摸屏氣體流量控制器是一種精確測量氣體流量的儀表，可以直接測量通過流量計的介質(zhì)的質(zhì)量流量，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。主要是用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密丈量和控制。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。 它不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說，質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置，是一個可以手動設(shè)定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
原理：
觸摸屏氣體流量控制器是基于熱擴散原理而設(shè)計的流量儀表，即利用流體流過發(fā)熱物體時，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。本系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度，當流體流動時，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系，再通過微電子控制技術(shù)，將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。
氣流進入進氣管道街頭后大部門流量流過分流器通道，其中很小一部門進入傳感器內(nèi)部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結(jié)構(gòu)，可以實現(xiàn)這兩部門氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預(yù)熱加溫，里面的溫度高于進入的氣流溫度，此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經(jīng)由放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設(shè)定信號進行比較，以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥，使得流量檢測信號與設(shè)定信號相等，這樣便實現(xiàn)了MFC的功能。
