層流壓差流量計是測控氣體流量的儀表,是計量氣體流量的計量器具。質(zhì)量流量計(MFM)和控制器(MFC)使用前需要預(yù)熱,這是熱式原理MFM/FMC產(chǎn)品的一個特點(diǎn)。為什么呢?
這是由熱式原理測量方式所決定,其產(chǎn)品流道內(nèi)需另外開一旁通微小的管道,通常叫毛細(xì)管,通過把毛細(xì)管加熱到一定溫度,再通過一定的公式來計算流量。剛開機(jī)的熱式產(chǎn)品因?yàn)槊?xì)管溫度還未達(dá)到正常測量時需求的溫度,所以需要在管道通氣后先加熱到預(yù)定溫度,才可以準(zhǔn)確測量,這個加熱的過程就是預(yù)熱的過程,時間通常為5~30分鐘不等。
從原理上講,以下是層流壓差流量計幾個優(yōu)勢:
工作范圍廣:從測量范圍上講,層流壓差產(chǎn)品最小能測控到0.01ml/min的氣體,最大能測量到10000L/min的氣體;從適用溫度上講,氣體的壓差不受溫度影響,溫度只影響產(chǎn)品本身材質(zhì),所以層流壓差產(chǎn)品在工作溫度上范圍更廣,低溫可到-50℃,高溫可到115℃左右;
響應(yīng)速度快:從原理上講,層流壓差原理產(chǎn)品從獲得壓差來測量流量,而壓差是通過壓力波傳播,壓力波速度跟聲速一樣。這就意味著壓差傳感器接收信號的時間低于1ms,加上系統(tǒng)處理信號并反饋的時間,意味著層流壓差產(chǎn)品的響應(yīng)速度會非常快速。
精度更好:層流壓差產(chǎn)品信號主要是來源于壓差信號,而壓差傳感器的精度和分辨率目前能到萬分之一。這使得層流壓差原理的產(chǎn)品準(zhǔn)確度非常好,標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品,目前可以做到0.5%級,實(shí)驗(yàn)測試會更好。
穩(wěn)定性和可靠性更好:層流壓差原理產(chǎn)品從原理上來講,只受壓差本身的影響,其他環(huán)境的變化例如溫度,不會影響產(chǎn)品正常工作。